|
РУС | ENG
| |
|
ПоискПрименение методов нанотехнологий в производстве датчиков механических параметров... Н. Баринов ОАО «НИИ физических измерений», г. Пенза С середины 80-х годов в НИИФИ освоены технологии микросистемной техники, технологическим базисом которой являются технологии микромеханики и микроэлектроники, включающие наноразмерные элементы и нанотехнологии их изготовления, реализованные в серийно выпускаемых микромеханических акселерометрах, полупроводниковых и тонкопленочных датчиках давлений. Сферами применения наноразработок являются ракетно-космическая (наземная инфраструктура, космодромы... Изменен: 14.04.2011нанотехнологии , датчики , поликристаллический кремний , нанопленочные , тензорезисторы , микроэлектроника , датчики давления Путь: Главная – Нанотехнологическое общество России / Наука / Библиотека Отсортировано по релевантности | Сортировать по дате |