Применение методов нанотехнологий в производстве датчиков механических параметров

14.04.2011

Применение методов нанотехнологий в производстве датчиков механических параметров

Е. А. Мокров, А. В. Блинов, А. А. Папко, И. В. Волохов, С. А. Козин, И. Н. Баринов
ОАО «НИИ физических измерений», г. Пенза

С середины 80-х годов в НИИФИ освоены технологии микросистемной техники, технологическим базисом которой являются технологии микромеханики и микроэлектроники, включающие наноразмерные элементы и нанотехнологии их изготовления, реализованные в серийно выпускаемых микромеханических акселерометрах, полупроводниковых и тонкопленочных датчиках давлений. Сферами применения наноразработок являются ракетно-космическая (наземная инфраструктура, космодромы и полигоны, средства отработки и выведения, космические аппараты, дальний космос и др.) и другие отрасли экономики страны (авиация, автомобильный и железнодорожный транспорт, топливно-энергетический и атомный энергетический комплекс, медицина и жизнеобеспечение, строительство зданий, сооружений и специальных объектов, землепользование, связь).