Регистрация | Забыли свой пароль?

Поиск


 



Применение методов нанотехнологий в производстве датчиков механических параметров

... Н. Баринов ОАО «НИИ физических измерений», г. Пенза С середины 80-х годов в НИИФИ освоены технологии микросистемной техники, технологическим базисом которой являются технологии микромеханики и микроэлектроники, включающие наноразмерные элементы и нанотехнологии их изготовления, реализованные в серийно выпускаемых микромеханических акселерометрах, полупроводниковых и тонкопленочных датчиках давлений. Сферами применения наноразработок являются ракетно-космическая (наземная инфраструктура, космодромы...

Изменен: 14.04.2011
нанотехнологии , датчики , поликристаллический кремний , нанопленочные , тензорезисторы , микроэлектроника , датчики давления
Путь: Главная – Нанотехнологическое общество России / Наука / Библиотека

Отсортировано по релевантности | Сортировать по дате