|
РУС | ENG
| |
|
ПоискНано- и микропленочные геттеры в технологии вакуумирования МЭМС-устройствАннотация доклада «Нано- и микропленочные геттеры в технологии вакуумирования МЭМС-устройств » на Второй ежегодной научно-технической конференции Нанотехнологического общества... ... датчике давления в качестве чувствительного элемента используется обычно мембрана толщиной менее 10 мкм. При использовании тонкой мембраны снижение вакуума, вызванное проникновением газов, было бы более серьезным, чем у традиционных вакуумных электронных приборов... Изменен: 15.11.2010конференция , нанотехнологическое общество , геттеры , нанопленочный , герметичные устройства , электроника , мембраны Путь: Главная – Нанотехнологическое общество России / Наука / Библиотека Отсортировано по релевантности | Сортировать по дате |