|
РУС | ENG
| |
|
ПоискРефлектометрические исследования поверхности монокристаллического кремния и напыленной на нее нанопленки углеродаА. А. Кряжев Институт геологии Коми НЦ УрО РАН, Сыктывкар, Россия Для диагностики поверхностных изменений используется метод рентгеновской рефлектометрии. Данный метод основан на явлении полного внешнего отражения рентгеновских лучей от поверхности исследуемого материала. С помощью него можно определить шероховатость поверхности, а также оценить физические и геометрические свойства приповерхностных слоёв, что может быть полезно в технологии создания полупроводниковых приборов, где широко использ Изменен: 18.01.2011исследование , кремний , нанопленка , рефлектометрия , диагностика , полупроводниковые , подложка , пленки Путь: Главная – Нанотехнологическое общество России / Наука / Библиотека Отсортировано по релевантности | Сортировать по дате |