|
РУС | ENG
| |
|
ПоискНаноструктурные фильтрующие элементы для тонкой очистки жидкостей... очистке жидких сред путем осаждения частиц эрозионной плазмы на пористые носители на сегодня и ближайшее десятилетие является прогрессивной технологией. В зависимости от состава плазмы и реакционного газа можно формировать ультратонкое наноструктурные мембраны с заданными функциональными свойствами (сорбционно - активные, каталитически - активные, низкая адгезия и др.). В. В. Григоров, П. Н. Мартынов, Р. Ш. Асхадуллин, Г. В. Григорьев, И. В. Ягодкин, С. С. Скворцов ФГУП «ГНЦ РФ – Физико-энергетический... Изменен: 23.12.2010наноструктурные , мембраны , плазма , синтез , фильтрующие элементы Путь: Главная – Нанотехнологическое общество России / Наука / Библиотека Нано- и микропленочные геттеры в технологии вакуумирования МЭМС-устройств... устройства обладают множеством преимуществ, особенно благодаря миниатюрным размерам. Например, в пьезоэлектрическом МЭМС датчике давления в качестве чувствительного элемента используется обычно мембрана толщиной менее 10 мкм. При использовании тонкой мембраны снижение вакуума, вызванное проникновением газов, было бы более серьезным, чем у традиционных вакуумных электронных приборов. Проникновение газов через единицу площади за единицу времени в МЭМС гораздо выше, чем в традиционной конструкции. Например... Изменен: 15.11.2010конференция , нанотехнологическое общество , геттеры , нанопленочный , герметичные устройства , электроника , мембраны Путь: Главная – Нанотехнологическое общество России / Наука / Библиотека Отсортировано по релевантности | Сортировать по дате |