|
РУС | ENG
| |
|
ПоискПослойный анализ углеводородных покрытий на основе спектроскопии отраженных электронов... проводились в генераторе плазмы с продольным магнитным полем PSI-2 (Max-Plank Institute of Plasma Physics, Germany). Кремниевые подложки закреплялись на охлаждаемом держателе, который устанавливался в центральной части камеры дрейфа длиной 1 м и диаметром... ..., продуктов разложения этилена. Конечная структура пленок определялась соотношением потоков углерода и атомарного водорода. Скачать статью Изменен: 26.10.2010анализ , углеводородные покрытия , оборудование , конструкционные материалы , кремниевые , подложки , скачать Путь: Главная – Нанотехнологическое общество России / Наука / Библиотека Сортировать по релевантности | Отсортировано по дате |