Поиск

Формирование наноструктурных слоев твердых растворов карбида кремния с нитридом алюминия и многослойных структур на их основе

Г. К. Сафаралиев НИИ «Микроэлектроники и нанотехнологий» при Дагестанском государственном техническом университете, Махачкала, Россия В настоящее время в электронике сформировалось направление, которое может быть охарактеризовано как «научно-технический прорыв» в области элементной базы для создания нового поколения систем обеспечения ядерной, экологической безопасности, технических средств специального назначения, а также ряда конкурентоспособных изделий общегражданского применения с ранее недо

Отсортировано по релевантности | Сортировать по дате