|
|
РУС | ENG
| |
 |
|
|
 | |
ПоискТехнологии производства и методы исследования структур «кремний на изоляторе» (КНИ)... пластин с поверхностями заданного состава. Согласно разработанным маршрутам в методе прямого сращивания вместо технологии шлифовки и травления для утончения одной из пластин предлагается использовать технологию отслаивания (отщепления) части рабочей пластины кремния по области пористого слоя, образованного посредством имплантации протонов на заданную глубину в пластину кремния. Пористый слой включает в свой состав наполненные водородом нанопоры, созданные имплантацией протонов в слое кремния через... Изменен: 05.12.2010кремний , КНИ , исследования , студенты , аспиранты , нано , микроэлектроника , пластины кремния , дефекты Путь: Главная – Нанотехнологическое общество России / Наука / Библиотека Сортировать по релевантности | Отсортировано по дате |
   | Все права защищены. При любом использовании материалов портала гиперссылка на ntsr.info обязательна.
© 2009 Нанотехнологическое Общество России |
|