|
|
РУС | ENG
| |
 |
|
|
 | |
ПоискНано- и микропленочные геттеры в технологии вакуумирования МЭМС-устройствАннотация доклада «Нано- и микропленочные геттеры в технологии вакуумирования МЭМС-устройств » на Второй ежегодной научно-технической конференции Нанотехнологического общества России «Перспективы развития в России НБИК-технологий как основного научного направления прорыва к шестому технологическому укладу». Баринов И.Н., старший научный сотрудник, к.т.н., ОАО «НИИ физических измерений», г. Пенза Большинство герметичных устройств содержат химически активный геттер. К таким устройствам относят Изменен: 15.11.2010конференция , нанотехнологическое общество , геттеры , нанопленочный , герметичные устройства , электроника , мембраны Путь: Главная – Нанотехнологическое общество России / Наука / Библиотека Сортировать по релевантности | Отсортировано по дате |
   | Все права защищены. При любом использовании материалов портала гиперссылка на ntsr.info обязательна.
© 2009 Нанотехнологическое Общество России |
|