|
|
РУС | ENG
| |
 |
|
|
 | |
ПоискТехнологии производства и методы исследования структур «кремний на изоляторе» (КНИ)....П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, Ю.А.Чаплыгин В монографии рассматриваются различные технологии и методы исследования структур «кремний на изоляторе» (КНИ). Предложена модифицированная технология получения этих структур с использованием современных методов... ... микроэлектромеханических устройств (которые необходимы для электронной и атомной промышленности) и солнечных батарей, а также материалов нано- и микроэлектроники использовался метод прямого соединения окисленных поверхностей пластин кремния с последующим утончением... Изменен: 05.12.2010кремний , КНИ , исследования , студенты , аспиранты , нано , микроэлектроника , пластины кремния , дефекты Путь: Главная – Нанотехнологическое общество России / Наука / Библиотека Сортировать по релевантности | Отсортировано по дате |
   | Все права защищены. При любом использовании материалов портала гиперссылка на ntsr.info обязательна.
© 2009 Нанотехнологическое Общество России |
|