Регистрация | Забыли свой пароль?

Поиск


 



Список публикаций ИТЭФ-МИЭТ-МИФИ 2005-2010 г.г. по нанотехнологиям и близко примыкающим к ним проблемам

.... Hаучная Онлайн-Библиотека Порталус: http://www.portalus.ru/modules/science/rus_readme.php?subaction=showfull&id=1266993069&archive=&start_from=&ucat=19&category=19 Е.П.Прокопьев. 04.09.2010 - Технологии производства и методы исследования структур КНИ. Сборник статей ( Технологии производства и методы исследования структур КНИ. Сборник статей ). ID=1283578940. Hаучная Онлайн-Библиотека Порталус: http://www.portalus.ru/modules/science/rus_readme.php?subaction=showfull&id=1283578940&archive=&start_from=&ucat=19&...

Изменен: 08.12.2010
Nanoobject , positron , annihilation , spectroscopy , technique , Nanotechnologies , Nanomaterials , нанотехнологии , КНИ , кремний
Путь: Главная – Нанотехнологическое общество России / Наука / Библиотека

Технологии производства и методы исследования структур «кремний на изоляторе» (КНИ)

А.Л.Суворов, Б.Ю.Богданович, А.Г.Залужный, В.И.Графутин, В.В.Калугин, А.В.Нестерович, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, Ю.А.Чаплыгин В монографии рассматриваются различные технологии и методы исследования структур «кремний на изоляторе» (КНИ). Предложена модифицированная технология получения этих структур с использованием современных методов очистки поверхности и сращивания кремниевых пластин во влажных условиях, а также методов химической сборки поверхности и сращивания с применением...

Изменен: 05.12.2010
кремний , КНИ , исследования , студенты , аспиранты , нано , микроэлектроника , пластины кремния , дефекты
Путь: Главная – Нанотехнологическое общество России / Наука / Библиотека

Сортировать по релевантности | Отсортировано по дате