Регистрация | Забыли свой пароль?

Поиск


 



Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова. — М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. — 283 с. ил. — (Нанотехнологии). Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И. В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших...

Изменен: 22.11.2010
нанотехнологии , учебное пособие , студенты , наноэлектроника , интегральные схемы
Путь: Главная – Нанотехнологическое общество России / Наука / Библиотека

Отсортировано по релевантности | Сортировать по дате