Регистрация | Забыли свой пароль?

Поиск


 



Технологии производства и методы исследования структур «кремний на изоляторе» (КНИ)

... ультрабольших интегральных схем с повышенной стойкостью к ионизирующим излучениям, микроэлектронных кремниевых датчиков и микроэлектромеханических устройств (которые необходимы для электронной и атомной промышленности) и солнечных батарей, а также материалов нано- и микроэлектроники использовался метод прямого соединения окисленных поверхностей пластин кремния с последующим утончением одной из пластин до требуемой толщины монокристаллического слоя кремния. При этом определяющую роль играет химический состав...

Изменен: 05.12.2010
кремний , КНИ , исследования , студенты , аспиранты , нано , микроэлектроника , пластины кремния , дефекты
Путь: Главная – Нанотехнологическое общество России / Наука / Библиотека

Отсортировано по релевантности | Сортировать по дате