Регистрация | Забыли свой пароль?

Поиск


 



Послойный анализ углеводородных покрытий на основе спектроскопии отраженных электронов

... проводились в генераторе плазмы с продольным магнитным полем PSI-2 (Max-Plank Institute of Plasma Physics, Germany). Кремниевые подложки закреплялись на охлаждаемом держателе, который устанавливался в центральной части камеры дрейфа длиной 1 м и диаметром... ..., продуктов разложения этилена. Конечная структура пленок определялась соотношением потоков углерода и атомарного водорода. Скачать статью

Изменен: 26.10.2010
анализ , углеводородные покрытия , оборудование , конструкционные материалы , кремниевые , подложки , скачать
Путь: Главная – Нанотехнологическое общество России / Наука / Библиотека

Отсортировано по релевантности | Сортировать по дате