Регистрация | Забыли свой пароль?

Поиск


 



Применение методов нанотехнологий в производстве датчиков механических параметров

Е. А. Мокров, А. В. Блинов, А. А. Папко, И. В. Волохов, С. А. Козин, И. Н. Баринов ОАО «НИИ физических измерений», г. Пенза В настоящий момент ОАО «НИИФИ» имеет научно-технический задел в виде разработанных и успешно внедренных следующих конструктивно-технологических решений, использующих методы нанотехнологий: – технология формирования тензо- и термоэлементов на основе наноструктурированного поликристаллического кремния для изготовления полупроводниковых датчиков давления; – технология формиро

Изменен: 14.04.2011
нанотехнологии , датчики , поликристаллический кремний , нанопленочные , тензорезисторы , микроэлектроника , датчики давления
Путь: Главная – Нанотехнологическое общество России / Наука / Библиотека

Отсортировано по релевантности | Сортировать по дате