Регистрация | Забыли свой пароль?

Поиск


 



Твердые растворы на основе карбида кремния: технология и свойства

Б. А. Билалов НИИ «Микроэлектроники и нанотехнологий» при Дагестанском государственном техническом университете, Махачкала, Россия Известно, что на структуру и свойства полупроводниковых материалов очень сильно влияют технологические условия роста. Поэтому при выращивании образцов (SiC) 1-x (AlN) х были проведены исследования влияния различных технологических факторов на свойства растущих материалов. Прежде всего, было изучено влияние газовой атмосферы роста на параметры твердых растворов. Уст

Изменен: 17.03.2011
карбид , кремний , раствор , полупроводниковые материалы , наноэлектроника
Путь: Главная – Нанотехнологическое общество России / Наука / Библиотека

Отсортировано по релевантности | Сортировать по дате