Регистрация | Забыли свой пароль?

Поиск


 



Рефлектометрические исследования поверхности монокристаллического кремния и напыленной на нее нанопленки углерода

А. А. Кряжев Институт геологии Коми НЦ УрО РАН, Сыктывкар, Россия Для диагностики поверхностных изменений используется метод рентгеновской рефлектометрии. Данный метод основан на явлении полного внешнего отражения рентгеновских лучей от поверхности исследуемого материала. С помощью него можно определить шероховатость поверхности, а также оценить физические и геометрические свойства приповерхностных слоёв, что может быть полезно в технологии создания полупроводниковых приборов, где широко использ

Изменен: 18.01.2011
исследование , кремний , нанопленка , рефлектометрия , диагностика , полупроводниковые , подложка , пленки
Путь: Главная – Нанотехнологическое общество России / Наука / Библиотека

Многофункциональный рентгеновский рефлектометр для контроля параметров наноструктур

А. Г. Турьянский, М. А. Кумахов, Н. Н. Герасименко, И. В. Пиршин, В. М. Сенков Разработанная система обеспечивает уникальное сочетание аналитических возможностей для неразрушающего контроля различных типов наноструктур или матриц, содержащих наноразмерные включения. Режимы относительной рентгеновской рефлектометрии и рефрактометрии впервые предлагаются для практического применения при исследовании и контроле. Используемая замкнутая схема водяного охлаждения и сравнительно малая мощность рентгено

Изменен: 11.11.2010
наноструктуры , рефлектометр , оборудование , рефлектометрия , рефрактометрия , скачать
Путь: Главная – Нанотехнологическое общество России / Наука / Библиотека

Сортировать по релевантности | Отсортировано по дате