Регистрация | Забыли свой пароль?

Поиск


 



Некоторые альтернативы в наноэлектронике

... С. Рудый 2 , А. Б. Чурилов 1 1 Ярославский филиал Физико-технологического института РАН 2 Ярославский государственный университет им. П.Г.Демидов, Ярославль, Россия Стандартным материалом современной микро- и наноэлектроники безусловно является кремний. На его основе создаются различные микроэлектронные и микроэлектромеханические (МЭМС) компоненты, а также солнечные элементы, которые могут использоваться в качестве источников питания для устройств микроэлектроники и микромеханики. Основой структурного...

Изменен: 11.01.2011
наноэлектроника , кремний , микроэлектроника , микромеханика , солнечные элементы , нанотехнологии , полупроводник , альтернативные технологии
Путь: Главная – Нанотехнологическое общество России / Наука / Библиотека

Технологии производства и методы исследования структур «кремний на изоляторе» (КНИ)

А.Л.Суворов, Б.Ю.Богданович, А.Г.Залужный, В.И.Графутин, В.В.Калугин, А.В.Нестерович, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, Ю.А.Чаплыгин В монографии рассматриваются различные технологии и методы исследования структур «кремний на изоляторе» (КНИ). Предложена модифицированная технология получения этих структур с использованием современных методов очистки поверхности и сращивания кремниевых пластин во влажных условиях, а также методов химической сборки поверхности и сращивания...

Изменен: 05.12.2010
кремний , КНИ , исследования , студенты , аспиранты , нано , микроэлектроника , пластины кремния , дефекты
Путь: Главная – Нанотехнологическое общество России / Наука / Библиотека

Сортировать по релевантности | Отсортировано по дате