|
РУС | ENG
| |
Некоторые альтернативы в наноэлектронике |
| |
11.01.2011
Некоторые альтернативы в наноэлектроникеС. А. Кривелевич1, А. С. Рудый2, А. Б. Чурилов11Ярославский филиал Физико-технологического института РАН 2 Ярославский государственный университет им. П.Г.Демидов, Ярославль, Россия Стандартным материалом современной микро- и наноэлектроники безусловно является кремний. На его основе создаются различные микроэлектронные и микроэлектромеханические (МЭМС) компоненты, а также солнечные элементы, которые могут использоваться в качестве источников питания для устройств микроэлектроники и микромеханики. Основой структурного единства различных технологий создания таких устройств является применение литографических методов, позволяющих получать разнообразные формы на поверхности и в объеме полупроводника. Однако конкретные технологии создания микроэлектронных, микромеханических и оптических устройств зачастую плохо согласуются друг с другом, что сдерживает развитие нанотехнологий, позволяющих создавать энергонезависимые микромеханические устройства с электронным управлением. Ваше мнение о статье |
Популярные тэги ntsr.info |