Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях

Регистрация | Забыли свой пароль?

22.11.2010

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях

Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И.

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.

Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Содержание учебного пособия «Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях»

По вопросам приобретения обращаться:

«БИНОМ. Лаборатория знаний»

Телефон: (499) 157-5272

e-mail: binom@Lbz.ru, http://www.Lbz.ru


Возврат к списку публикаций


Ваше мнение о статье

Евгений Прокопьев, 09.12.2010 10:07:25
Для современного развития нанотехнологии и микромеханики представляют большой интерес рассмотрение элементарных процессов и системы вакуумно-плазменного травления для процессов производства современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. В связи с этим в данной монографии проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования, используемых в современных нанотехнологиях. Можно с уверенностью сказать, что эта монография является ценным практическим дополнением к уже имеющимся фундаментальным научным трудам и монографиям школы Л.С.Поллака в области физики и химии плазмы.
Перейти к обсуждению на форуме >>  

Интернет-ресурсы

Популярные тэги ntsr.info

Нано в играх

Нанотехнологическое общество России

email: orgnanosociety@mail.ru