|
РУС | ENG
| |
Многофункциональный рентгеновский рефлектометр для контроля параметров наноструктур |
| |
11.11.2010
Многофункциональный рентгеновский рефлектометр для контроля параметров наноструктурА. Г. Турьянский, М. А. Кумахов, Н. Н. Герасименко, И. В. Пиршин, В. М. СенковОписан измерительный комплекс для исследования наноструктур на базе рентгеновского рефлектометра. Представленное оборудование отличается от приборов аналогичного назначения тем, что его запатентованная рентгенооптическая схема обеспечивает параллельные измерения данных на нескольких спектральных линиях. Ваше мнение о статье |
Популярные тэги ntsr.info |