Пленочные нанофазы как новые наноматериалы для кремниевой наноэлектроники

06.07.2015

Пленочные нанофазы как новые наноматериалы для кремниевой наноэлектроники

Н. И. Плюснин

В представленном докладе определяется место пленочных нанофаз среди фаз, стабилизированных подложкой. Рассматриваются возможные применения пленочных нанофаз в кремниевых наносхемах, в безрезистной нанолитографии, в кремниевой нанофотонике и наноспинтронике. Систематизируются сведения об условиях образования пленочных нанофаз переходных металлов и их силицидов на кремнии. Приводится краткий обзор исследований по росту пленочных нанофаз Cr, Co и Fe на кремнии с помощью методов ДМЭ, ЭОС, СПЭЭ и АСМ. В качестве иллюстрации возможных свойств пленочных нанофаз, приведены опубликованные недавно данные об оптических и магнитных свойствах атомно-тонких пленок железа и его силицидов на кремнии, измеренные на воздухе.